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全自動離子濺射儀使用時需要注意哪些事項?

  • 更新日期:2023-02-02?     瀏覽次數(shù):612
    •   全自動離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
       

      全自動離子濺射儀

       

        全自動離子濺射儀的使用注意事項:
       
        1、一般作業(yè)間隔可調(diào),間隔越近,濺射速度越快,但熱損害會添加。
       
        2、離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn),真空度越低,I越大,濺射速度越快,原子結(jié)晶晶粒越粗,電子炮擊樣品(陽極)發(fā)生的熱量越高;真空度越高,I越小,濺射速度越慢,原子結(jié)晶晶粒越細微,電子炮擊樣品發(fā)生的熱量小。
       
        3、加快電壓為固定,也有可調(diào)的,加快電壓越高,對樣品熱損害越大。一般運用金屬靶材的正比區(qū)域。
       
        4、有些熱敏樣品,需要對樣品區(qū)進行冷卻,水冷或許帕爾貼冷卻;也能夠選用磁控設(shè)備,像電磁透鏡相同把電子違背樣品。經(jīng)過這樣的改造,當然會添加很高的成本。能夠在白臘外表濺射一層金屬,而沒有任何損害!
       
        5、真空中的雜質(zhì)越多,鍍膜質(zhì)量越差。一般黃金比較穩(wěn)定,能夠選用空氣作為等離子氣源,而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。
       
        6、氣體原子序數(shù)越高,動量越大,濺射越快,但晶粒會較粗,連續(xù)成膜的膜層較厚。
       
        7、保持真空室的潔凈對高質(zhì)量的鍍膜有很大優(yōu)點。
       
        8、不要讓機械真空泵長期保持極限真空,否則簡單反油。
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